반도체 8대 공정 마스터 (초보자부터 마스터까지 | 개정판)

반도체 8대 공정 마스터 (초보자부터 마스터까지 | 개정판)

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Description
본 교재는 반도체 공정을 배우는 학생과 초급 전문가의 학습 내지 평가를 위하여 객관식의 1,000여 문제로 구성되었다. 특히 기초 원리에 대한 이해와 전문 용어에 대한 효율적 학습을 기본 목표로 하여 초급, 중급, 고급 수준이 모두 포함되었다. 반도체 8대 공정을 포함하여 10장으로 작성되었으며 각종 공정의 기초 원리와 소자 제작 공정 기술 및 응용에 대응한 실무적 유효성을 높이고자 의도하였다. 기존 반도체 공정의 텍스트들이 대부분 서술적이며 객관식 문제가 없어서 계량화된 학습의 효과를 얻는 데 한계가 있다는 점에 대해 항상 아쉬웠으며 본 책자를 구상한 계기가 되었다. 본 교재는 반도체 공정 교육이나 반도체 설계 산업기사와 같은 시험 평가 목적의 문제은행식 출제에 유용하다. 따라서 본 교재를 통달한다면 반도체 공정 분야에 이론적 기초를 다지고 반도체 과학적 원리를 습득하여 실무 과정에서 높은 수준으로 발전하기 위한 건실한 기반 마련이 가능할 것이다.
본 교재는 반도체를 전공하지 않은 비전공자들도 반도체 소재, 장비, 공정의 분야로 진출하여 마스터로 성공하기에 충분하도록 반도체 공정 기술에 대한 기반을 다지는 데 유용할 것이다. 미래 반도체 공정 분야에 관심이 많은 후학이 마스터가 되어 반도체 산업의 전문가로서 세계적 성과를 창출하여 국가 산업과 사회의 발전에 기여하기를 고대한다.
저자

최철종,심규환

저자:최철종
현재전북대학교반도체과학기술학과에교수로재직하고있으며,반도체소자와공정분야에대한강의를위주로해서교육을해오고있다.
과거한국전자통신연구원에입사해GaAs화합물반도체전자소자를국내에서개시한최초의구성원이었고,미국유학파견기간에는GaN분야를전공하여박사학위를취득했다.다시연구원으로복귀한후에SiGe반도체를위주로개발업무를수행했으며,2004년전북대학교로이직하여SiGe,GaN,Ga2O3의화합물반도체분야에지속적으로집중하면서연구와교육을이행하였다.
주전공은반도체소자와공정이다.반도체의시조이며주축인실리콘반도체를포함해서화합물반도체를이용하여정전기방호소자,광소자,전력소자,RF소자와같이다양한소자를설계하고개발하는데가장관심이많다.
(현)전북대학교반도체학과교수
(전)삼성전자종합기술원수석연구원

저자:심규환
현재전북대학교반도체과학기술학과에교수로재직하고있으며,반도체소자와공정분야에대한강의를위주로해서교육을해오고있다.
과거한국전자통신연구원에입사해GaAs화합물반도체전자소자를국내에서개시한최초의구성원이었고,미국유학파견기간에는GaN분야를전공하여박사학위를취득했다.다시연구원으로복귀한후에SiGe반도체를위주로개발업무를수행했으며,2004년전북대학교로이직하여SiGe,GaN,Ga2O3의화합물반도체분야에지속적으로집중하면서연구와교육을이행하였다.
주전공은반도체소자와공정이다.반도체의시조이며주축인실리콘반도체를포함해서화합물반도체를이용하여정전기방호소자,광소자,전력소자,RF소자와같이다양한소자를설계하고개발하는데가장관심이많다.
(현)(주)시지트로닉스(SIGETRONICS)대표
(현)전북대학교반도체학과교수
(전)한국전자통신연구원책임연구원

목차


제1장|반도체기초
제2장|산화
제3장|확산
제4장|이온주입
제5장|박막증착
제6장|리소그래피
제7장|식각
제8장|금속배선
제9장|소자공정
제10장|패키징

출판사 서평


반도체산업이국가경쟁력의핵심으로떠오르면서,반도체공정에대한이해와문제해결능력이더욱중요해지고있다.『반도체8대공정마스터』는단순히개념을암기하는것이아니라,문제를직접풀어보면서이해도를점검하고응용력을높일수있는도서다.특히,반도체제조공정별로문제가정리되어있어원하는부분을집중적으로연습할수있으며,다양한시점으로반복되는문제풀이를통해자연스럽게개념이정리되며실전감각을키우고응용력을늘릴수있다는점이훌륭하다.
24년도에출간되었던초판의내용을더튼튼히보강하고문제를대폭추가한이번개정판은공정별로나뉜각장을통해문제를풀며개념을확립하고,실제업무에서발생할수있는문제해결능력을갖출수있어반도체관련업계취업을준비하는이들에게도강력추천한다.