반도체 산업의 유해인자

반도체 산업의 유해인자

$23.98
Description
신공정, 신기술, 새로운 화학물질 사용…
산업보건학적 시각에서 바라본 반도체 산업
반도체 산업은 인류 역사상 최고의 첨단 산업으로, 최신 기술과 사업에서 예외 없이 사용하는 반도체 칩을 만들어 낸다. 그런데 반도체 산업의 클린룸, 수백 단계의 공정, 수백 종의 화학물질, 고밀도 에너지, 일반 제조업과 다른 교대 근무와 상시적인 예방정비 작업과 같은 특성으로 인해 노동자 건강에 우려와 관심이 집중되고 있는 현실이다. 반도체 산업에 종사하는 노동자의 건강에 대한 연구는 1980년대부터 시작되어 현재까지 이어지고 있지만, 아직까지 많은 부분이 밝혀지지 않고 있다.

이 책은 반도체 분야에서 10년 이상 연구와 조사에 참여해 온 국내 산업위생 전문가들의 반도체 공부 모임에서 시작되어, 이를 발전시켜 반도체 산업 노동자, 경영자, 관리자, 그리고 연구자와 학생이 두루 참고할 수 있는 교과서를 만드는 데 의견을 모아 함께 집필한 것이다. 이 책의 기본 집필 방향은 다음과 같다. 반도체 공정을 잘 모르는 산업보건 전문가를 위해 반도체 공정을 가급적 쉽게 기술하고, 공정별로 사용하는 기술과 이때 발생하는 유해인자를 알아보며, 반도체 공정뿐 아니라 반도체 산업의 특징을 산업보건학적 시각에서 조망하는 것이다. 이를 바탕으로 우리 반도체 산업이 노동자의 건강을 지키며 안전하게 발전할 수 있는 데 이 책이 도움이 되길 희망한다.
저자

윤충식

서울대학교보건대학원(보건학박사)
서울대학교보건대학원환경보건학과교수

목차

들어가기
1장새기술,새공정,새화학물질사용의위험성_15
1.반도체산업의안전보건이문제가되는이유_16/2.반도체산업의유해요인과직업병에대한지식_21

2장반도체의이해_27
1.반도체의기초_28/2.반도체의분류_31/3.모스트랜지스터_35/4.전자소자와반도체_37/5.집적회로의발전_38/6.반도체의역사_42

3장반도체제조공정의전반적이해_45
1.반도체제조공정개요_46/2.실리콘웨이퍼제조_48/3.웨이퍼가공_50/4.칩조립및검사_52/5.기타공정_53

4장클린룸과유해인자_55
1.반도체사업장클린룸의이해_56/2.클린룸의공기청정도관리_58/3.반도체사업장의클린룸유지_61/4.반도체산업의전실과방진복_63/5.클린룸에대한산업보건학적시각_64

5장웨이퍼제조공정과유해인자_67
1.반도체제조공정개요_68/2.웨이퍼제조공정_69/3.잉곳제조공정의유해인자_81

6장클리닝(세정)공정과유해인자_85
1.클리닝개요_86/2.클리닝공정_90/3.클리닝공정의유해인자_98

7장확산공정과유해인자_101
1.확산공정개요_102/2.확산공정의유해인자_106

8장포토리소그래피공정과유해인자_111
1.포토리소그래피공정의개요_112/2.포토리소그래피세부공정_113/3.포토레지스트_137/4.포토리소그래피공정의유해인자_142

9장식각공정과유해인자_159
1.식각공정의개요_160/2.식각공정_162/3.식각공정의유해인자_180

10장증착공정과유해인자_183
1.증착공정의개요_184/2.증착공정의유해인자_192

11장이온주입과유해인자_195
1.웨이퍼회로접합형성_196/2.이온주입법_198

12장물리화학적연마와유해인자_207
1.물리화학적연마의개요_208/2.슬러리_210/3.물리화학적연마공정의유해인자_214

13장칩조립및검사공정과유해인자_217
1.칩조립공정의개요_218/2.패키지종류_221/3.칩조립공정의유해인자_223

14장반도체공정에서의화학물질사용과유해성_263
1.반도체산업과화학물질사용_264/2.우리나라반도체산업과화학물질사용현황_267/3.반도체산업에서의영업비밀물질사용_269/4.세계적으로반도체업체에서규제되는화학물질들_273/5.반도체공정별사용하는화학물질_276/6.반도체공장의노출평가와분해산물_280

15장반도체공정과전자파_283
1.전자파의기본특성_284/2.반도체제조공정및설비특성_285/3.전자파의건강영향_288/4.전자파의노출기준_290/5.반도체제조사업장작업자들의극저주파자기장노출수준_295/6.반도체제조사업장작업자들의극저주파자기장노출관리방안_301

16장반도체공정주요질병위험고찰_305
1.주요질병위험_306/2.생식독성위험_306/3.암발생및사망위험_310