반도체 제조장비기술

반도체 제조장비기술

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Description
학생들은 각 제조공정의 단계에서 사용되는 장비의 역할과 특징을 이해하며, 실제로 어떻게 작동하는지 파악할 수 있도록 필수적인 장비 기술을 소개하였다. 더불어 반도체 제조 장비 분야에 입문하거나 실무 경험이 부족한 분들을 위해 체계적인 학습 자료를 제공하고자 교재를 구성하였다. 나아가 반도체 제조 장비에 대한 기초 지식을 습득하여 여러분의 전문 분야에서의 경쟁력을 높일 수 있도록 교재를 집필하게 되었다.
저자

김현후

저자:김현후
반도체디스플레이과교수
두원공과대학교

목차


CHAPTER01반도체제조공정의이해
CHAPTER02웨이퍼제조공정및장비
CHAPTER03산화공정및장비
CHAPTER04포토공정및장비
CHAPTER05식각공정및장비
CHAPTER06증착공정및장비
CHAPTER07이온주입공정및장비
CHAPTER08열처리공정및장비
CHAPTER09금속공정및장비
CHAPTER10패키징공정및장비
CHAPTER11기타공정및장비
APPENDIX부록