반도체 특강: 소자편

반도체 특강: 소자편

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Description
쉽고 재미있는 이야기로 풀어낸 반도체 이론
이 책은 반도체 관련 학과 학생, 반도체 업종에서 근무하거나 반도체와 연관된 전문 분야에서 일하고자 하는 이들을 대상으로 하며, 반도체에 대한 개념을 다지고 기본 원리를 이해하여 실무에 폭넓게 활용할 수 있도록 했다. 반도체가 궁금한 일반인들도 충분히 이해할 수 있도록 반도체의 근본 속성과 포괄적 원리를 다루었으며, 핵심적인 기반 기술을 중심으로 상세히 설명하여 꼭 반도체 전문가가 아니더라도 내용을 충분히 소화할 수 있도록 했다.

* 본 도서의 해설 및 정오표는 한빛아카데미 홈페이지에서 다운로드할 수 있습니다.
(홈페이지 접속 -도서명 검색 - 도서 상세페이지의 [부록/예제소스])
저자

진종문

한국항공대학교전자공학과를졸업(공학사)한후모토로라코리아(MotorolaKoreaCo.,Ltd.반도체부문)FinalTest에서HighFrequency&OpticalDevice의TestEngineeringReliability&Assurance를담당했다.현대전자산업㈜반도체품질보증실(DRAMMemory),사명이변경된하이닉스반도체㈜품질보증실(DRAMBasedModule),Mobile&Flash사업본부(NANDFlashMemory&Marketing),Flash개발본부(NANDFlashMemory)에서수석연구원을지냈고,다시사명이변경된SK하이닉스㈜FlashSolution개발본부(NANDFlashMemory),NANDSolution개발본부(NANDBasedSSD)의수석연구원을포함하여27년간반도체제품에대한신뢰성/품질및연구개발을진행했다.현재는국립한밭대학교지능형나노반도체학과에서산학협력중점교수로재직중이다.IEEE정회원,IEIE평생회원이다.저서로는『NANDFlash메모리』(홍릉과학출판사,2015)가있다.본도서는국내최초로출간된NAND메모리관련도서이다.

목차

PART01반도체와마케팅
0120세기최고의발명품,점접촉트랜지스터
02자유전자의탄생
03전자와에너지
04반도체의정의
05디램과낸드플래시
06넷다이,반도체테크놀로지가결정하다
07메모리의성장과제품의세대교체
08용량과원가,그리고시장지배력

PART02층쌓기,반도체를짓다
09웨이퍼의종류와특성
10초순수위에극초순수를쌓다,에피텍시기술
11이상적인절연기능,산화막
[반도체탐구영역]산화막편
12게이트옥사이드의기능과신뢰성
[반도체탐구영역]게이트옥사이드편
13ALD,분자막쌓기
14가스로필름을만드는CVD
[반도체탐구영역]화학기상증착(CVD)편
15MOS,수직축으로본전계의전달
16게이트단자의변신
[반도체탐구영역]게이트단자편
17팹프로세스1:게이트+게이트옥사이드
[반도체탐구영역]ALD편

PART03패턴을조각하다
18빛과돌로만드는반도체,포토-리소그래피
[반도체탐구영역]포토-리소그래피편
19포토공정:감광액(PR)도포하기
20포토공정:노광과현상
[반도체탐구영역]포토공정편
21프로세스의카운셀러,플라즈마
[반도체탐구영역]플라즈마편
22식각:패턴을시작하다
23식각:패턴을완성하다
[반도체탐구영역]식각편
24반도체를세탁하다,세정공정
[반도체탐구영역]세정공정편
25팹프로세스2:소자분리막(STI)구축하기

PART04트랜지스터,농도의화신
26확산,모두를포용하다
[반도체탐구영역]확산편
27이온주입,건설적파괴
[반도체탐구영역]이온주입편
28웨이퍼를담금질하다,파괴를복원하는어닐링
[반도체탐구영역]어닐링편
29다수캐리어와소수캐리어
30캐리어의사막지대,결핍영역
31FET,수평축으로본전자의이동

PART05MOSFET특성과CMOS스위칭
32문턱전압,트랜지스터동작의첫걸음
[반도체탐구영역]문턱전압편
33채널,전자의이동통로
34단채널부작용과누설전류
[반도체탐구영역]단채널부작용과누설전류편
35팹프로세스3:스페이서+LDD
36MOSFET동작특성,드레인전류의변화
37CMOS,반도체르네상스를이끈디바이스의최강자
38이상적인스위칭,CMOS동작특성
[반도체탐구영역]CMOS동작특성편